Усули тайёр кардани полисиликон.

1. Бор кардан

Тигели кварции руйпушшударо ба руи столи гармидихй гузошта, ашьёи хоми кремний илова кунед, баъд тачхизоти гармидихй, тачхизоти изоляционй ва сарпуши печро гузоред, печро эвакуация кунед, то фишори печьро то 0,05—0,1мбар паст кунад ва вакуумро нигох доред. Аргонро ҳамчун гази муҳофизатӣ ҷорӣ кунед, то фишорро дар танӯр дар тақрибан 400-600 мбар нигоҳ дорад.

2. Гарм кардан

Барои гарм кардани корпуси печь аз асбоби гармкунаки графитӣ истифода бурда, аввал намии ба рӯи қисмҳои графит, қабати изолятсия, ашёи хоми кремний ва ғайра адсорбшударо бухор кунед ва баъд оҳиста гарм кунед, то ҳарорати тигели кварц тақрибан ба 1200-1300 расад.℃. Ин раванд 4-5 соат мегирад.

3. Гудохтан

Аргонро ҳамчун гази муҳофизатӣ ҷорӣ кунед, то фишорро дар танӯр дар тақрибан 400-600 мбар нигоҳ дорад. Оҳиста-оҳиста қудрати гармиро зиёд кунед, то ҳароратро дар тигел ба тақрибан 1500 мутобиқ созед℃, ва ашьёи хоми кремний ба об шудан шуруъ мекунад. Тақрибан 1500 нигоҳ доред℃дар вакти гудозиш то ба охир расидани гудозиш. Ин раванд тақрибан 20-22 соатро мегирад.

4. Афзоиши кристалл

Пас аз гудохта шудани ашёи хоми кремний, қувваи гармидиҳӣ кам карда мешавад, то ҳарорати тигел тақрибан 1420-1440 паст шавад.℃, ки нуқтаи обшавии кремний мебошад. Баъд тигели кварцй тадричан ба поён харакат мекунад ё асбоби изоляционй тадричан баланд мешавад, то ки тигели кварцй охиста-охиста аз минтакаи гармкунй баромада, бо атроф мубодилаи гармй ба вучуд меоварад; дар айни замой ба воситаи пластинкаи хунуккунй барои паст кардани харорати гудохта аз поён об гузаронда мешавад ва дар поён аввал кремнийи кристаллй хосил мешавад. Дар ҷараёни афзоиш, интерфейси сахт ва моеъ ҳамеша ба ҳамвории уфуқӣ параллел боқӣ мемонад, то он даме, ки афзоиши кристалл ба анҷом мерасад. Ин раванд тақрибан 20-22 соатро мегирад.

5. Табобат кардан

Пас аз ба итмом расидани афзоиши кристалл, аз сабаби градиенти калони ҳарорат дар байни поён ва болои кристалл, метавонад дар зарф фишори гармӣ мавҷуд бошад, ки ҳангоми гарм кардани вафли кремний ва тайёр кардани батарея дубора шикастан осон аст. . Аз ин рӯ, пас аз ба итмом расидани нашъунамои кристалл, зарфи кремнийро дар наздикии нуқтаи обшавӣ 2-4 соат нигоҳ медоранд, то ҳарорати якрангии кремний ва кам кардани фишори ҳароратӣ.

6. Хунуккунӣ

Пас аз он ки зарфи кремний дар танӯр тоза карда мешавад, қувваи гармиро хомӯш кунед, дастгоҳи гармидиҳии гармиро баланд кунед ё зарфи кремнийро комилан паст кунед ва ҷараёни зиёди гази аргонро ба оташдон ворид кунед, то ки тадриҷан ҳарорати кремнийро ба наздикӣ паст кунед. ҳарорати хонагӣ; дар айни замон фишори газ дар печь тадричан баланд мешавад, то ба фишори атмосфера расад. Ин раванд тақрибан 10 соат мегирад.